科技数码 晶瑞股份：购得ASML光刻机设备 该设备于当日运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室。此次购买旨在研发出更高端的ArF光刻胶，若研发工作进展顺利，将有助于公司将光刻胶产品序列实现到Ar... 大约4年 (2021-01-19)
科技数码 打破美日欧垄断！中企买下ASML二手光刻机，12英寸国产芯有戏了 据晶瑞股份董事长吴天舒介绍，该设备有利于解决我国在集成电路制造领域关键材料“卡脖子”难题，待光刻胶成功研发后，也将为国产12英寸芯片的制造提供重要材料 大约4年 (2021-01-20)