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中国将进口荷兰顶级光刻机?中芯国际或在谈判,ASML回应了

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如今看来,光刻机不再是一台简单的机器,而是承载着国产化希望的“钥匙”,尤其是EUV光刻机,成为破局的关键。在当前的全球光刻机市场,荷兰ASML公司占据着75%的市场,日本的尼康和佳能合计占据19%,ASML在行业内可以说是一家独大。

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要说普通的光刻设备,或者DUV光刻机,事情也就简单了,日本的尼康和佳能至少还有替代品,但是EUV光刻机被ASML独家垄断,全世界仅此一家可以制造。

据ASML公布的财报显示,2019年共卖出26台EUV光刻机,其中有一半被台积电买走,三星和英特尔买下另外一半。作为大陆最先进晶圆制造商的中芯国际,至今没有收到一台EUV光刻机,也正因如此,在先进制程工艺方面没有得到加速发展。

事实上,自从2017年梁孟松加盟中芯国际以来,先进制程工艺得到很大突破,从28nm到7nm只用了3年时间,背后离不开梁孟松博士的贡献。但是,最近中芯国际“引进”蒋尚义,事前并未通知梁孟松,致使梁孟松提出了辞呈,表示想“休息片刻”。

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根据多家媒体报道的消息,在中芯国际新任副董事长蒋尚义的牵头下,正在与荷兰ASML公司进行谈判,寻求获得EUV光刻机。事实上,早在2018年,中芯国际就曾经向ASML订购一台EUV光刻机,价值近10亿人民币,但是到现在都没有收到机器。

为什么中芯国际要再次准备进口EUV光刻机?对于当下的中芯国际来说,万事俱备,只欠东风,这里的“东风”所指的就是EUV光刻机。当然,也有业内人士表示,蒋尚义在光刻机方面或有渠道资源,或许可以帮助中芯国际尽快拿到先进光刻机。

根据梁孟松辞呈中的信息来看,中芯国际将在明年实行7nm风险量产,3nm工艺制程已经获得攻克,但是需要EUV光刻机才能制造出来。如今来看,这几年在梁孟松的带领下,中芯国际的进步是显而易见的,但受制于EUV光刻机,迟迟无法实现7nm量产。

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为了EUV光刻机,我国也做出了很大努力。就在12月16日,我国与荷兰还进行了关于经贸领域的视频会议,其中我国就提到欢迎荷兰企业来华投资,扩大投资范围,加强各领域合作,同时希望荷兰能在光刻机领域保持公正。

这将有助于我国尽快进口EUV光刻机,对此,荷兰ASML回应了。ASML公司的首席财务官Roger Dassen表示,ASML对包括中国在内的全球客户都一视同仁,向中国出口DUV光刻机没有违反《瓦森纳协定》,也无需出口许可证,但是关于EUV光刻机,公司仍然在等待新许可证申请的批准。

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从ASML的表态来看,阿斯麦并不想放弃中国市场,但是出于其他方面的因素考虑,一直未能向中国出口EUV光刻机。时至今日,很多人依然不明白为什么ASML要听美国的?要知道ASML光刻机的重要零配件——光源系统来自美国,正是因此才有出口限制。

对于中芯国际和ASML公司的谈判,台积电的态度很奇怪,毕竟台积电并不希望中芯国际发展太快。从台积电诞生之初,就一直保持行业第一的地位,如果中芯国际获得EUV光刻机,那么7nm将迅速实现量产,3nm也将加快速度,这是台积电不想看到的结果。

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蒋尚义、梁孟松曾经都是台积电的研发负责人,如今中国大陆正在吸引越来越多的全球半导体人才,加快整个半导体行业的发展。即使中芯国际短期内依然无法获得EUV光刻机,但是随着我国在光刻机等核心科技领域的研发,未来实现光刻机国产化只是时间问题。

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