倘若将半导体芯片产业比作制造业的皇冠，那光刻机便是皇冠上的明珠，EUV光刻机则堪称明珠之光，在芯片制造生产过程中，光刻机的重要性不言而喻。值得注意的是，日本有一家企业生产的设备地位却堪比光刻机。
这家企业正是日本Canon Tokki，所生产的设备为真空蒸镀光刻机。众所周知，全球唯一能生产EUV光刻机的企业只有荷兰的ASML公司，而Canon Tokki的行业地位也不差，垄断了全球95%的高端市场，掌握着OLED产业的咽喉。
相较于LCD屏，OLED屏更轻盈，反应速度都更快，且耐低温，可制作成曲面屏。因此，OLED屏也被业界视为未来的发展方向。而在OLED屏的生产过程中，最重要、工艺难度最高的环节就是“蒸”，故而真空蒸镀机十分重要。
据悉，京东方正是因为拿到Canon Tokki的真空蒸镀机，第六代柔性OLED生产线才能提前量产。而三星做所以能垄断中小尺寸OLED屏的生产和供货，也有Canon Tokki的真空蒸镀机有关。可见，无论三星还是京东方，都离不开真空蒸镀机。
事实上，全球蒸镀设备厂商并非只有Canon Tokki，但其量产稳定性和技术成熟的优势却无人能及。通俗来讲，OLED屏幕中除了发光材料，每一个像素、金属电极都是通过蒸镀机蒸上去，而Canon Tokki能够将误差控制在5微米内。
目前，世界上除了Canon Tokki外，没有任何一家公司的蒸镀机能够达到5微米的精准度。高难度工艺导致Canon Tokki真空蒸镀机的产量有限，业界预测其年产量约在几台到十几台之间，Canon Tokki真空蒸镀机在市场上明显供不应求。
也正因如此，Canon Tokki的真空蒸镀机价格非常昂贵，达到1.14亿美元，约合人民币7.98亿元。但即便接近8亿元的售价，Canon Tokki真空蒸镀机在市场上也一机难求，因为Canon Tokki每年生产的设备有7成提供给日韩屏幕厂商。
其中最值得一提的当属三星，早些年Canon Tokki的发展状况并不是很好，正是因为三星出手相助，其才能在业内得以生存并走向如今的地位，因此Canon Tokki生产的真空蒸镀机总是优先提供给三星，这也是三星OLED屏快速发展的原因之一。
不得不承认，三星对产业趋势和技术的判断、把握非常精准，值得我们学习。目前，我国并未有企业生产真空蒸镀机，想要不“卡住脖子”仍需努力。
文/有鱼 审核/子扬 校正/知秋
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