中芯国际正处在多事之秋，蒋尚义回归致梁孟松出走，随后昨晚美国商务部又将中芯国际列入实体名单，真可谓祸不单行。不过根据最新的消息传出，在刚刚上任副董事长的蒋尚义的牵头下，中芯国际与荷兰ASML就进口EUV光刻机进行谈判。
报道称，中芯国际一直难以从阿斯麦获得EUV光刻设备，尽管阿斯麦在法律上不受某些约束条件的影响，但仍存顾虑。
对于中芯国际引入EUV （极紫外光源）光刻机事情，目前上市不被允许的，而ASML之前已经证实。
ASML CFO Roger Dassen表示，如果广泛的来理解其规章制度对ASML的总体含义(对于特定的中国客户)，则意味着ASML将能够从荷兰向这些中国客户提供DUV光刻系统，且无需出口许可证，但是EUV （极紫外光源）光刻机是没有机会的。
2018年4月，中芯国际向ASML订购了一台 EUV 光刻机，价值1.2亿美元（约合人民币8亿元），预计2019年年初交货。后来此事被报道后，ASML回应称，对包括中国客户在内的全球客户都一视同仁，且向中国出售EUV光刻机并没有违反《瓦森纳协定》。当时，荷兰政府的确向 ASML 发放了出口许可证。
今年3月6日，有消息曝出，中芯国际深圳厂区收到了一台自荷兰进口的大型光刻机。此消息传出之后，市场也为之沸腾。不过，中芯国际很快就出来回应道，这只是常规的设备导入，并不是大家猜想的EUV光刻机。
目前的光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV光刻机，分为干分式与液浸式两种。其中，液浸式于ASML手中诞生，其波长虽然有193nm，但等效为134nm，经过多重曝光后，液浸式光刻机也能够达到7nm工艺。但是，每多一次曝光都会使得制造成本大大提升，而且良品率也难以控制。
EUV光刻机采用13.5nm波长的光源，是突破10nm芯片制程节点必不可少的工具。也就是说，就算DUV（深紫外线）光刻机能从尼康、佳能那里找到替代，但如果没有ASML的EUV光刻机，芯片巨头台积电、三星、Intel的5nm产线就无法投产。
转载请超链接注明：头条资讯 » 2年前订的EUV光刻机还未交货 中芯国际将与ASML谈判
免责声明
：非本网注明原创的信息，皆为程序自动获取互联网，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责；如此页面有侵犯到您的权益，请给站长发送邮件，并提供相关证明(版权证明、身份证正反面、侵权链接)，站长将在收到邮件24小时内删除。