科技数码 新一代大尺寸集成电路硅单晶生长设备试产成功 据悉，大尺寸半导体硅单晶材料是制约我国集成电路产业发展的“卡脖子”问题。实现了采用自主研发国产装备拉制成功大尺寸、高品质集成电路级硅单晶材料的突破 4年多 (2020-12-25)