科技数码 中科院入局光刻机，中美芯片角力全面展开。是选择奋起直追还是弯道超车？ 而最新一代光刻机EUV的三大核心技术领域，顶级的光源(激光系统)、高精度的镜头(物镜系统)、精密仪器制造技术(工作台)，其中镜头被德国的蔡司垄断，精密仪器... 大约4年 (2020-09-26)