光刻機是芯片製造中一個極為重要的設備,有人覺得只要我們現在擁有了最為高端的光刻機,就可以實現最先進製程工藝芯片的製造。其實,這樣的想法是因為對芯片製造產業中所涉及到的環節不是很熟悉造成的。
僅僅以科技風景線小編的瞭解,我們要想在芯片製造方面的自主化可控,還需要在這些環節方面,有所突破:在設備方面,光刻機、刻蝕機、光刻膠、蒸鍍機、離子注入機等,在材料方面,光刻膠、濺射靶材、硅片、清洗液、顯影液、拋光液、研磨液、特種氣體等等,這些設備與材料本身還有不同的功能,在應用中,也有多個環節,這就是意味著並不是一個研發成功了,就全環節通吃了。
為了給大家說明一下半導體產業鏈中各個環節的重要性,這裡舉一個小例子。
光刻膠是將掩膜版上電路圖形轉移到硅片上的關鍵材料,主要特性就是經過光的照射後,會發生光化學反應,缺少了這個關鍵環節,光刻流程就無法實現。而光刻膠因為自身的化學特點,在存儲的時候,需要非常苛刻的條件。
條件包括存儲的時間、溫度、光線等等,任何一個條件不滿足,就會影響光刻膠的正常使用,進而會影響到整個光刻工藝技術的提升,所以在存儲方面,需要特殊的工藝,比如,一般大家所見到的有關光刻膠的圖片,基本上都是使用一種褐色的瓶子來存儲的。
可不要小瞧了這種彩色的小瓶子,它可是避免光刻膠被雜散光照射而出現光化學反應的關鍵存儲器皿,在製造方面,同樣需要很高的技術水平,一般玻璃企業的產品滿足不了光刻膠的存儲,根據上海新陽半導體材料在回覆投資者的提問回覆中,可以發現,該公司在高端光刻膠的研發方面,已經完成了實驗室研發階段,而該公司的光刻膠存儲器皿方面,則是通過國外進口的方式獲得的。
這裡說的光刻膠存儲器皿的自主化可控也是至關重要的,沒有了這種特種存儲器皿,就無法實現光刻膠生產到光刻膠使用這中間環節的運輸、轉移,而高質量的這種存儲器材可以加大光刻膠的存儲時間,光刻膠存儲時間長了,就可以大大緩解光刻膠生產企業與芯片製造企業之間的運輸存儲成本,也是降低光刻工藝成本的關鍵,依賴進口,就意味著這一關鍵環節存在風險。
這些都說明了,光刻膠是我們半導體制造產業的一大短板,而與光刻膠相關的周邊產品方面,同樣存在短板,也需要我們努力攻關。
芯片製造產業發展壯大,需要整個產業鏈的發展壯大,在這一技術高度密集的產業鏈上,每一個環節的科研攻關,都是值得我們加油吶喊的,我們的科研人員都是值得我們尊敬的!
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