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ASML交付第一臺YieldStar 385系統,可滿足3納米制程要求

科技數碼 36氪

在應用業務中,ASML在第四季度向客戶交付了第一臺YieldStar 385系統。YieldStar 385具備最新的量測技術,提高量測速度和準確度,可以滿足3納米制程的要求。 與以前的系統相比,主要的增強功能包括更快的工作臺和更快的波長切換,這可以實現高精度的套準測量和使用多個波長的設備匹配。(財聯社)

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