科技數碼 KLA突破電子束晶圓缺陷檢測瓶頸，將助EUV光刻機一臂之力 半導體工藝技術的路線發展，無論是在存儲技術的途徑上，朝著 3D NAND 和 DRAM 前進，或是往邏輯器件的 FinFET 和 GAA（Gate-All... 接近5年 (2020-07-23)