光刻機對於芯片製造的重要性如今已是不言而喻，在整個芯片生產流程中，有30%以上的工序，都要用到光刻機。而光刻機門檻頗高，使得目前僅有ASML、Canon、Nikon三家企業能夠生產高端光刻機。
其中，ASML的高端光刻機出貨量更是在全球佔據90%的超高份額。EUV光刻機研製更是被ASML獨佔，處於壟斷地位。EUV光刻機有著“半導體工業皇冠上的明珠”之稱，據悉，其製造難度不亞於原子彈。那麼，為何高端光刻機生產如此之難？
首先，光刻機是全球最頂尖科技的集合，其核心零部件技術難度都不低，有著最前沿的技術為依託。
其次，光刻機核心零部件將近10萬個，這無疑是一項巨大的工程。而這些零部件僅靠ASML不可能全部生產，因此，ASML光刻機將近90%的零部件由供應商提供。如何打通供應鏈，是一個不小的挑戰。
這兩大難題便擋退了不少想要進軍光刻機領域的企業。更何況，光刻機生產技術、調試技術等，均是必須面對的難題。雖然我國光刻機落後，但在ASML光刻機10萬個零件中，也有來自中國的企業的技術。賽微電子、福晶科技與藍英裝備子公司，便是ASML的三家中國供應商。
其中，蘭英裝備子公司供應的清洗設備，主要用於EUV光刻機光學系統的關鍵部件。光刻機在製造芯片過程中，需要經過多次清洗，這就需要專門清洗設備的幫助。而英藍裝備子公司，便是光刻機清洗裝備供應商中的一家。
賽微電子主要是ASML供應微機電系統MEMS。賽微電子的MEMS雖然只有幾毫米，但擔任著十分重要的角色，負責EUV光刻機的微流控。
福晶科技的產品為光學元件，光源對於光刻機來說至關重要。因此，光學元件對光刻機來說也很是重要。不過，福晶科技只為ASML提供極少量光學元件，還是需要進一步努力。
通過上述信息來看，中國企業的產品在光科技中，也有不錯的發揮。但整體來看，中國企業在ASML供應鏈中所佔份額較低，並且擁有可替代性。由此來看，中國芯片產業落後還是十分明顯，需要進一步提升。
目前，中科院院長白春禮已經表態，將舉中科院之力，發展光刻機等被卡脖子的產品等。希望有一天，中國也能有自己的高端光刻機，不必再受制於人。
文/BU 審核/有魚
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