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晶瑞股份:購得ASML光刻機設備

科技數碼 e公司

e公司訊,晶瑞股份(300655)1月19日晚間公告,公司購得ASML XT 1900 Gi型光刻機一臺。該設備於當日運抵蘇州併成功搬入公司高端光刻膠研發實驗室。下一步,公司將盡快完成設備的安裝調試工作。此次購買旨在研發出更高端的ArF光刻膠,若研發工作進展順利,將有助於公司將光刻膠產品序列實現到ArF光刻膠的跨越,並最終實現應用於12英寸芯片製造的戰略佈局。

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