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打破美日歐壟斷!中企買下ASML二手光刻機,12英寸國產芯有戲了

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打破美日歐壟斷!中企買下ASML二手光刻機,12英寸國產芯有戲了

受美國阻撓及新冠疫情影響,此前我國企業向ASML訂購的EUV光刻機遲遲未能到貨。如今,中企有望在其他供應商處找到轉機。

據觀察者網1月20日報道,在耗時近4個月後,晶瑞股份斥資1102.5萬美元(約合人民幣7129萬元),從韓國代理商SK Hynix處購買的二手ASML浸沒式光刻機(XT 1900Gi)已順利到貨。

據報道,該司預計2021年上半年完成設備的安裝調試,用於研發最高分辨率達28nm的高端光刻膠;並期望在3年內完成ArF光刻膠產品相關技術參數及產品定型,實現規模化生產。

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所謂光刻膠,是一種對光敏感的有機混合物,主要用於芯片製造環節中微細圖形的加工。據晶瑞股份董事長吳天舒介紹,該設備有利於解決我國在集成電路製造領域關鍵材料“卡脖子”難題,待光刻膠成功研發後,也將為國產12英寸芯片的製造提供重要材料。

雖然光刻膠研發難度比光刻機的難度要小,但在核心材料上,目前我國仍然需要從海外進口。

而當前全球光刻膠市場基本被歐盟以及日本等幾家大型企業壟斷,在關鍵材料領域,信越化學、合成橡膠、富士膠片等日企則掌握著主要話語權

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因此,近年來我國也一直試圖打破日本在光刻膠領域的壟斷,近年來已有晶瑞股份、南大光電、以及上海新陽等中企入局。

2020年12月17日,南大光電發佈公告稱,該司研發的ArF光刻膠產品已通過客戶使用認證,標誌著國內第一隻國產ArF光刻膠的誕生。

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除了中企加速入局,“國家隊”也集中力量幫助該領域的發展。去年9月份,在華為被斷供一天後,中科院院長白春禮表示,將把美國“卡脖子清單”變成我國科研任務清單進行佈局,集中全院的力量攻克難關。

文 |林妙瓊   題| 徐曉冰  圖|饒建寧  審|廖力思

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