集微網消息，據etnews報道，SK海力士已開始在其位於韓國利川的M16工廠安裝EUV光刻機，以量產10nm 1a DRAM。
圖源：etnews
此前SK海力士宣佈將在今年年內在M16廠建設產線以生產下一代DRAM，不過並未透露ASML EUV光刻機的引進方式、確切時間等。
因此業內人士有諸多揣測，包括將研究大樓R3的2臺EUV光刻機轉移至該產線，並計劃於今年2月開始安裝新購買的設備等。現在看來，SK海力士新設備的購買和安裝速度快於業界預期。
該報道指出，EUV光刻機的安裝時程需要3-6個月，因此SK海力士最快可以在今年上半年量產第一批產品。
據悉，ASML是EUV光刻機的獨家供應商，單臺的售價超過1.35億美元。
（校對/零叄）
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