倘若將半導體芯片產業比作製造業的皇冠，那光刻機便是皇冠上的明珠，EUV光刻機則堪稱明珠之光，在芯片製造生產過程中，光刻機的重要性不言而喻。值得注意的是，日本有一家企業生產的設備地位卻堪比光刻機。
這家企業正是日本Canon Tokki，所生產的設備為真空蒸鍍光刻機。眾所周知，全球唯一能生產EUV光刻機的企業只有荷蘭的ASML公司，而Canon Tokki的行業地位也不差，壟斷了全球95%的高端市場，掌握著OLED產業的咽喉。
相較於LCD屏，OLED屏更輕盈，反應速度都更快，且耐低溫，可製作成曲面屏。因此，OLED屏也被業界視為未來的發展方向。而在OLED屏的生產過程中，最重要、工藝難度最高的環節就是“蒸”，故而真空蒸鍍機十分重要。
據悉，京東方正是因為拿到Canon Tokki的真空蒸鍍機，第六代柔性OLED生產線才能提前量產。而三星做所以能壟斷中小尺寸OLED屏的生產和供貨，也有Canon Tokki的真空蒸鍍機有關。可見，無論三星還是京東方，都離不開真空蒸鍍機。
事實上，全球蒸鍍設備廠商並非只有Canon Tokki，但其量產穩定性和技術成熟的優勢卻無人能及。通俗來講，OLED屏幕中除了發光材料，每一個像素、金屬電極都是通過蒸鍍機蒸上去，而Canon Tokki能夠將誤差控制在5微米內。
目前，世界上除了Canon Tokki外，沒有任何一家公司的蒸鍍機能夠達到5微米的精準度。高難度工藝導致Canon Tokki真空蒸鍍機的產量有限，業界預測其年產量約在幾臺到十幾臺之間，Canon Tokki真空蒸鍍機在市場上明顯供不應求。
也正因如此，Canon Tokki的真空蒸鍍機價格非常昂貴，達到1.14億美元，約合人民幣7.98億元。但即便接近8億元的售價，Canon Tokki真空蒸鍍機在市場上也一機難求，因為Canon Tokki每年生產的設備有7成提供給日韓屏幕廠商。
其中最值得一提的當屬三星，早些年Canon Tokki的發展狀況並不是很好，正是因為三星出手相助，其才能在業內得以生存並走向如今的地位，因此Canon Tokki生產的真空蒸鍍機總是優先提供給三星，這也是三星OLED屏快速發展的原因之一。
不得不承認，三星對產業趨勢和技術的判斷、把握非常精準，值得我們學習。目前，我國並未有企業生產真空蒸鍍機，想要不“卡住脖子”仍需努力。
文/有魚 審核/子揚 校正/知秋
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