科技數碼 中科院入局光刻機，中美芯片角力全面展開。是選擇奮起直追還是彎道超車？ 而最新一代光刻機EUV的三大核心技術領域，頂級的光源(激光系統)、高精度的鏡頭(物鏡系統)、精密儀器製造技術(工作臺)，其中鏡頭被德國的蔡司壟斷，精密儀器... 4年多 (2020-09-26)