科技數碼 新一代大尺寸集成電路硅單晶生長設備試產成功 據悉,大尺寸半導體硅單晶材料是制約我國集成電路產業發展的“卡脖子”問題。實現了採用自主研發國產裝備拉制成功大尺寸、高品質集成電路級硅單晶材料的突破 超過4年 (2020-12-25)